Solarius – Thiết bị đo cấu trúc bề mặt – Atlas
Atlas 3D là một hệ thống đo bề mặt dạng mô đun giúp kiểm soát chất lượng và quy trình sản xuất. Tùy thuộc vào nhu cầu cụ thể, thiết bị có thể được cấu hình với nhiều loại công nghệ cảm biến 3D khác nhau, tạo thành một công cụ linh hoạt cho kết quả chính xác với nhiều yêu cầu đo 3D, với vật liệu và hình dạng khác nhau. Phần mềm của thiết bị giúp hỗ trợ tự động hóa và tăng hiệu quả trong môi trường sản xuất. Các cảm biến 3D interferometric cho phép đo nhanh với tốc độ lên đến 80.000 điểm trong chỉ 130 miligiây với độ phân giải chiều ngang đến 4 µm.
Các tính năng chính:
- Công thức tùy chỉnh, dễ tự động hóa
- Đo nhanh vô cùng
- Đa dạng các loại cảm biến
- Phạm vi đo chiều ngang rộng
- Công cụ phân tích dữ liệu linh hoạt
Các loại cảm biến:
- Cảm biến điểm confocal màu sắc
- Cảm biến dòng confocal màu sắc
- Cảm biến interferometric ánh sáng trắng
- Cảm biến đo triangulation dòng
Sử dụng cảm biến với công nghệ điểm confocal, dòng confocal, interferometric hoặc đo triangulation dòng, với độ phân giải chiều cao của dao động từ 1nm đến 200 µm. Giải pháp phần mềm của Atlas kết hợp hai công cụ phần mềm: công cụ tạo công thức đo và công cụ phân tích linh hoạt. Sự kết hợp độc đáo này rất phù hợp cho các ứng dụng trong nghiên cứu và phát triển, phân tích sự cố và đo bán tự động với số lượng thấp.
Thông số kỹ thuật
| Trục ngang | up to 400 mm x 400 mm |
| Trục dọc | 100 µm to 80 mm |
|---|---|
| Độ phân giải ngang | 1 µm up |
| Độ phân giải dọc | 1 nm up |
Atlas Custom Metrology Solution
Các lĩnh vực ứng dụng chính
- Bán dẫn, điện mặt trời và điện tử
Brand
Solarius là nhà cung cấp hàng đầu các hệ thống kiểm tra bề mặt không tiếp xúc chính xác để kiểm tra, đo lường, phân tích và trực quan hóa. Các thiết bị từ Solarius kết hợp các cảm biến có độ phân giải cao với hệ thống thu thập dữ liệu tự động và các công cụ phân tích mạnh mẽ. Với mạng lưới đối tác quốc tế, Solarius đã lắp đặt hơn 2.000 hệ thống đo lường đang hoạt động trên toàn thế giới.