Nordson Electronics Solutions – Hệ thống xử lí bề mặt công nghệ Plasma – FlexTRAK-SHS
Thông lượng và độ tin cậy hàng đầu trong ngành
Được xây dựng dựa trên công nghệ plasma đã được cấp bằng sáng chế của Nordson Electronics Solutions, FlexTRAK®-SHS là hệ thống plasma hoàn toàn tự động mới nhất kết hợp buồng F3-S dung lượng cao, để mang lại tính đồng nhất cao và tăng năng suất. Kiến trúc buồng vẫn giống như nền tảng FlexTRAK nhỏ hơn, cung cấp sự chuyển đổi liền mạch giữa các buồng khi sản xuất đòi hỏi nhiều công suất hơn.
Thông số kỹ thuật
| W x D x H – Footprint | 2314 x 1935 x 1787 mm (2293 H mm with light tower) 91.1 x 76.2 x 70.5 in (90.3 H in with light tower) |
| Net Weight | 1305 kg (2,871 lbs) |
|---|---|
| Chamber Volume | F3-S chamber: 9.6 liters (585 in³) F3 chamber: 5.5 liters (338 in³) |
| Powered Electrode Dimensions W x D | F3-S chamber: 305 x 610 mm (12 x 24 in) F3 chamber: 305 x 305 mm (12 x 12 in) |
| RF Power: Standard Wattage | F3-S chamber: 1000 W F3 chamber: 600 W |
| RF Power: Frequency | 13.56 MHz |
| Gas Control: Maximum Number of MFCs | 4 |
Tính năng chính
FlexTRAK® SHS
Thông lượng hàng đầu trong ngành
- Buồng xử lý F3-S dung tích lớn
- Bộ đệm và xử lý dải đồng thời
- Tự động hóa nâng cao và khả năng tách tạp chí
Phát triển sản phẩm mới
- Xử lý vật liệu tiên tiến
- Khả năng đáp ứng các kích thước strip ngày càng lớn
- Phát hiện kẹt tinh vi
Ứng dụng linh hoạt
- Hiệu quả buồng plasma
- Buồng quá trình có thể lựa chọn cấu hình
- Chế độ plasma đa năng
Các ứng dụng chính:
- Xử lý plasma trước wire bond trên các subtrate và lead frame bán dẫn
- Xử lý plasma trước khi underfill trên flip-chip
- Xử lý plasma trước khi molding trên substrate và leadfreame
- Xử lý plasma đối với substrate và leadframe để cải thiện độ bám dính
- Loại bỏ / giảm quá trình oxy hóa trên leadframe
Các lĩnh vực ứng dụng chính
- Bán dẫn, điện mặt trời và điện tử
Brand
Nordson Electronics Solutions là một bộ phận của Nordson Corporation, một nhà sản xuất toàn cầu các giải pháp về thiết bị và công nghệ công nghiệp. Nordson Electronics Solutions và dòng sản phẩm MARCH là thương hiệu hàng đầu về thiết bị xử lý bề mặt bằng công nghệ Plasma. Với đội ngũ chuyên gia khoa học và kỹ sư tay nghề, Nordson March tập trung phát triển các giải pháp làm sạch và kích hoạt bề mặt, desmear, descum, ashing và etchback hiệu quả cho leadframe và wafer packaging và PCB.