Hệ thống xử lí bề mặt công nghệ Plasma AP-300™ và AP-600™
Hệ thống plasma dòng AP thích hợp cho nhiều ứng dụng làm sạch plasma, kích hoạt bề mặt và cải thiện độ bám dính. Những khả năng này được sử dụng cho sản xuất linh kiện bán dẫn, đóng gói và lắp ráp vi điện tử cũng như trong sản xuất thiết bị y tế và khoa học đời sống. Dòng AP bao gồm bốn model máy plasma cung cấp các kích thước buồng xử lý cỡ nhỏ, cỡ trung và lớn, đảm bảo sự tương quan về quy trình, điều khiển liên tục và kết quả xử lý plasma tin cậy, phù hợp cho quy mô sản xuất từ cấp độ R&D đến cấp độ sản xuất cao hơn.
Tính năng và lợi ích
- Bộ điều khiển PLC với màn hình cảm ứng cung cấp giao diện đồ họa trực quan và thể hiện quy trình thời gian thực
- Thiết kế kệ linh hoạt cho phép xử lý các sản phẩm carrier khác nhau ở chế độ plasma trực tiếp hoặc downstream
- Bộ phát RF 13,56 MHz có tính năng phối hợp trở kháng tự động để tái tạo moi
- Phần mềm kiểm soát cung cấp dữ liệu về quy trình và dữ liệu sản xuất nhằm mục đích kiểm soát quy trình theo thống kê.
- Xử lý plasma theo buồng, mỗi thiết bị hoàn toàn khép kín, yêu cầu không gian đặt máy tối thiểu
- Máy bơm, buồng hoạt động, điều khiển điện tử và bộ phát RF 13,56 MHz được đặt đồng bộ trong một khung
AP-300™ và AP-600™
Thiết bị có kiểu dáng để bàn, hoàn toàn khép kín, yêu cầu không gian bàn đặt tối thiểu. Khung hệ thống chứa buồng plasma, thiết bị điện tử điều khiển, bộ phát RF 13,56 MHz và mạng kết hợp tự động (chỉ có bơm chân không nằm bên ngoài hệ thống). Việc tiếp cận bảo trì được cung cấp thông qua cửa có khóa liên động hoặc các tấm có thể tháo rời. Buồng plasma hỗ trợ tối đa 7 giá đỡ được cấp nguồn hoặc nối đất có thể tháo rời và điều chỉnh được để chứa nhiều loại bộ phận, linh kiện và carrier bao magazine, tray và boats. Hệ thống xử lý plasma chân không có thể đáp ứng nhiều loại khí xử lý bao gồm khí argon, oxy, hydro, heli và flo. Cả hai mẫu đều đạt tiêu chuẩn với hai (2) bộ điều khiển lưu lượng điện tử để kiểm soát khí tối ưu, với option hai bộ điều chỉnh lưu lượng khí MFC (2) (tổng cộng tối đa 4). Kết nối facility thuận tiện cho các yêu cầu hiệu chuẩn định kỳ được sử dụng trong quá trình xác nhận.
Thông số kỹ thuật
| AP-300™ | AP-600™ | |
|---|---|---|
| W x D x H – Footprint | 569W x 869D x 704H mm (22W x 34D x 28H in.) | 569W x 869D x 704H mm (22W x 34D x 28H in.) |
| Net Weight | 221 kg (487 lbs) | 221 kg (487 lbs) |
| Maximum Volume | 33.1 liters (2023 in³) | 50.4 liters (3076 in³) |
| Variable Electrode Configurations | Power-Ground, Ground-Power, Power-Power | Power-Ground, Ground-Power, Power-Power |
| Number of Electrode Positions | 7 | 7 |
| Electrode Pitch | 25.4 mm (1 in.) | 25.4 mm (1 in.) for 80D W 50.8 mm (2 in.) for 100o W |
| Powered Working Area | 190W x 330D mm (7.5W x 13D in.) | 349W x 425D (13.74W x 18.73D in.) 384W x 425D mm (15.12W x 18.73D in.) |
| Standard Wattage | 300 W | 600W |
| Available Flow Volumes | 10, 25, 50, 100, 250 or 500 sccm | 10, 25, 50, 100, 250 or 500 sccm |
Brand
Nordson Electronics Solutions là một bộ phận của Nordson Corporation, một nhà sản xuất toàn cầu các giải pháp về thiết bị và công nghệ công nghiệp. Nordson Electronics Solutions và dòng sản phẩm MARCH là thương hiệu hàng đầu về thiết bị xử lý bề mặt bằng công nghệ Plasma. Với đội ngũ chuyên gia khoa học và kỹ sư tay nghề, Nordson March tập trung phát triển các giải pháp làm sạch và kích hoạt bề mặt, desmear, descum, ashing và etchback hiệu quả cho leadframe và wafer packaging và PCB.